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3836 次 Yield Engineering Systems-HMDS VAPOR PRIME 工藝應用說明 2021-12-14
摘要自 70 年代初以來，旋轉分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻膠對基材的附著力。目前，HMDS 氣相底漆已成為一種成熟且廣泛使用的光刻膠涂層技術。由于減少了化學品消耗，并且經過處理的表面在

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